微（wēi）小型熱式氣體質量流（liú）量計(微小流量的單一組分的幹燥氣體)

微（wēi）小型熱式氣體質量流量計基於熱擴散原理（lǐ）工作。其核心部件包括一個加熱元件和兩個溫度傳感器。加熱元件將傳感器加熱到一定溫度，當（dāng）氣體流（liú）經（jīng）傳感器時，會帶走部分熱量，導致傳感器溫度下降。通過測量傳感器溫（wēn）度（dù）的變化，可以計算出氣體的質量流量